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富士通研・タッチパネル開発、光透過率９８％
【ＩＴ】発信：2002/12/18(水) 12:39:05
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富士通研究所および富士通コンポーネントは、表面弾性波（ＳＡＷ：Ｓｕｒｆａｃｅ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｗａｖｅ）を発生する圧電薄膜トランスデューサを用い、ＰＤＡなどの携帯情報通信端末に最適なタッチパネルを世界で初めて開発した。
このタッチパネルは、厚さ０．７ミリメートルで、圧電薄膜トランスデューサを収容する額縁部の幅が１．４ミリメートルのガラス板一枚を用い、光の透過率は９８％、傷に対して強く、小型化が可能。
ＰＤＡなどの携帯情報通信端末がカラー化、高性能化し、より自然に近い色での表示が望まれている。そのため、タッチパネルを用いる装置では、表示品質に影響を与えないように、光の透過率はできるだけ高く、反射率はできる限り低くする必要がある。
タッチパネルに一般的に用いられている抵抗膜方式は、複数の層から形成されており、各層を通過する間に光が散乱してしまうため、透過率は通常８２％程度になってしまう。また、各層の表面にコーティング処理を行っても、透過率は８６％程度までしか改善できなかった。
今回開発したのは、パネル額縁部の幅が狭くても高精細にタッチした位置を検出できる電極構成法と、位置検出回路、電気信号を表面弾性波に変換する圧電薄膜トランスデューサを形成するプロセス技術。圧電薄膜を電極と単極性の櫛型電極で挟み込むＳＰＴ（Single Phase Transducer）電極構造を用いて、「く」の字型の櫛型電極を連続して配置するシェブロン形電極構成を考案し、額縁１．４ミリメートルと高精細な位置検出性能を実現。
また、ＳＰＴ電極とシェブロン形電極構成の圧電薄膜トランスデューサに特化した制御回路を開発し、文字入力可能な位置分解能１００ｄｐｉと毎秒１００回のサンプリング性能を実現した。
さらに、ＳＰＴ電極とシェブロン電極構成の圧電薄膜トランスデューサに適した約２ミクロンの薄膜で、電気振動を効率よく機械振動に変換する圧電薄膜を大面積に成膜するプロセスを開発した。
これらにより、ガラス一枚で構成された透過率９８％（従来比１６％向上）、１．４ミリメートル幅の額縁部（従来比約２分の１）、０．７ミリメートル厚を実現したタッチパネルが開発された。
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